工艺制程中会使用到易燃易爆/有毒有害/腐蚀性等各类特种气体;特气系统就是把以上各种特种气体安全的、稳定的、以满足工艺制程要求的压力和流量等供应至工艺设备;并且特气系统本身，在供应输送过程中不会对特种气体产生二次污染。