在配管系统上应分段设置过滤器来去除微粒，通常应采用两级以上的气体过滤。在洁净厂房内一般设置预过滤器和高精度末端气体过滤器，预过滤器是设在洁净厂房的气体入口室的气体干管上，对气体进行预过滤，以减轻末端气体过滤器的负担，并延长其使用寿命，高精度末端气体过滤器应设在邻近用气点处。