高纯气体管道用高纯氦气进行吹扫，先吹主干管，其次吹支干管，最后吹扫各支管。吹扫时间根据气体品质不同要求确定，直到测试合格为止。非氮气管道，用氮气吹扫合格后进行置换，然后再次吹扫，直至置换后的气体达到纯度要求为止。